潔凈室是指空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、生產(chǎn)及滯留的粒子。室內其有關(guān)參數如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。

空態(tài)是指設施已經(jīng)建成，其服務(wù)動(dòng)力公用設施區接通并運行，但無(wú)成產(chǎn)設備、材料及人員的狀態(tài)。俗指已經(jīng)完工并能正常運行的潔凈室，但室內無(wú)生產(chǎn)人員及生產(chǎn)設備。

靜態(tài)是指設施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設備應安裝好，并按供需雙方商定的狀態(tài)運行，但無(wú)生產(chǎn)人員的狀態(tài)。俗指空態(tài)狀態(tài)下潔凈室增加正常生產(chǎn)的生產(chǎn)設備。

動(dòng)態(tài)是指設施以規定的方式運行，有規定的人員在場(chǎng)，并在商定的狀態(tài)下進(jìn)行工作。俗指靜態(tài)狀態(tài)下潔凈室增加規定的生產(chǎn)人員生產(chǎn)。